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維薩拉 BAROCAP 微型機(jī)械壓力傳感器
日期:2025-01-10 02:21
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摘要:維薩拉 BAROCAP 微型機(jī)械壓力傳感器在廣泛應(yīng)用中為用戶提供可靠的性能,可在從氣象到工業(yè)測(cè)量的廣泛應(yīng)用中提供可靠的性能。采用了兩項(xiàng)強(qiáng)大技術(shù):?jiǎn)尉Ч璨牧虾碗娙轀y(cè)量,BAROCAP 傳感器具有低滯后性、出色的準(zhǔn)確度和長(zhǎng)期穩(wěn)定性。
維薩拉 BAROCAP 微型機(jī)械壓力傳感器在廣泛應(yīng)用中為用戶提供可靠的性能
動(dòng)態(tài)黑色音符
維薩拉 BAROCAP® 于 1985 年**推出,是一種硅基微型機(jī)械壓力傳感器,可在從氣象到工業(yè)測(cè)量的廣泛應(yīng)用中提供可靠的性能。采用了兩項(xiàng)強(qiáng)大技術(shù):?jiǎn)尉Ч璨牧虾碗娙轀y(cè)量,BAROCAP 傳感器具有低滯后性、出色的準(zhǔn)確度和長(zhǎng)期穩(wěn)定性。
BAROCAP® 簡(jiǎn)介
? 超過(guò) 35 年的**的壓力測(cè)量
? 用于優(yōu)良?jí)毫y(cè)量的硅基電容式傳感器
? 氣壓范圍 500...1100 hPa
? 適用于工業(yè)應(yīng)用的 50...1100 hPa 壓力范圍
? 工藝過(guò)程壓力測(cè)量范圍 1...10 bar
? NIST 可溯源的壓力測(cè)量
BAROCAP® 的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)
? 低滯后,高復(fù)現(xiàn)性
? **的長(zhǎng)期穩(wěn)定性
? 可承受惡劣條件
工作原理
BAROCAP® 是一種微型機(jī)械傳感器,它利用其硅膜的尺寸變化來(lái)測(cè)量壓力。隨著周?chē)鷫毫υ黾踊蚪档?,膜?huì)彎曲,從而增大或減小傳感器內(nèi)部真空間隙的高度。真空間隙相對(duì)的兩個(gè)面充當(dāng)電極,隨著兩個(gè)電極之間距離的變化,傳感器的電容也會(huì)發(fā)生變化。測(cè)量電容并將其轉(zhuǎn)換為壓力讀數(shù)。
BAROCAP® 傳感器特性 —— 該傳感器的單晶硅材質(zhì)帶來(lái)了良好的特性:彈性好、滯后性低、重復(fù)性好、低溫依賴性和**的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。電容式結(jié)構(gòu)使傳感器具有較寬的動(dòng)態(tài)范圍,并為超壓阻斷提供了內(nèi)置機(jī)制。
氣壓測(cè)量典型應(yīng)用
氣壓測(cè)量在氣象學(xué)中具有廣泛的應(yīng)用。需要?dú)鈮簲?shù)據(jù)來(lái)估計(jì)大氣中可沉淀的水蒸氣量。典型的應(yīng)用包括氣象站、數(shù)據(jù)浮標(biāo)、GPS 氣象學(xué)和環(huán)境數(shù)據(jù)記錄。氣壓測(cè)量也用于水文學(xué)和土壤學(xué)應(yīng)用。
在多種工業(yè)應(yīng)用中也需要?dú)鈮簲?shù)據(jù)。在對(duì)壓力敏感的工業(yè)設(shè)備(如激光干涉儀和光刻系統(tǒng))、航空應(yīng)用以及在廢氣分析中需對(duì)氣壓進(jìn)行測(cè)量。計(jì)量應(yīng)用包括實(shí)驗(yàn)室壓力標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量和校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室中的環(huán)境監(jiān)測(cè)。
維薩拉提供一系列用于室內(nèi)外的專業(yè)級(jí)氣壓計(jì)。BAROCAP® 氣壓計(jì)在大跨度溫度范圍內(nèi)適用,在高要求的應(yīng)用環(huán)境下(如專業(yè)的氣象和航空)也有可靠表現(xiàn)。
BAROCAP® 在加壓系統(tǒng)中的測(cè)量應(yīng)用
維薩拉 DRYCAP® 露點(diǎn)儀表具有悠久的歷史,可在壓縮空氣系統(tǒng)中提供可靠、穩(wěn)定的測(cè)量結(jié)果,并在高壓設(shè)備中提供 SF6 隔離氣體監(jiān)測(cè)。除了需要進(jìn)行露點(diǎn)測(cè)量外,這兩個(gè)應(yīng)用也需要進(jìn)行**而穩(wěn)定的壓力測(cè)量。維薩拉已將其 DRYCAP 和 BAROCAP 技術(shù)集成到一系列產(chǎn)品中,這些產(chǎn)品為加壓系統(tǒng)提供壓力和露點(diǎn)測(cè)量的獨(dú)特組合。
在壓縮空氣中,將露點(diǎn)測(cè)量與實(shí)時(shí)過(guò)程壓力數(shù)據(jù)相結(jié)合可提供獨(dú)特的優(yōu)勢(shì):可在線將測(cè)得的壓力露點(diǎn)轉(zhuǎn)換為大氣壓力或 ppm 單位,從而消除了露點(diǎn)數(shù)據(jù)中出現(xiàn)任何歧義的可能性。這一點(diǎn)很重要,因?yàn)槭鼙O(jiān)視氣體的壓力變化會(huì)改變其露點(diǎn)。
在高壓設(shè)備的 SF6 氣體監(jiān)測(cè)中將露點(diǎn)和壓力測(cè)量相結(jié)合,可為評(píng)估 SF6 隔離狀況提供出色的工具??梢粤⒓礄z測(cè)到泄漏,并針對(duì)水分問(wèn)題進(jìn)行預(yù)警。通過(guò)測(cè)量露點(diǎn)、壓力和溫度,可以計(jì)算 SF6 氣體密度、歸一化壓力、大氣壓力下的露點(diǎn)和 ppm ——這是 SF6 監(jiān)視中的所有基本要素。
BAROCAP® 傳感器
BAROCAP® 傳感器的橫截面
BAROCAP® 故事
BAROCAP® 的故事始于 20 世紀(jì) 70 年代后期,當(dāng)時(shí)對(duì)新一代維薩拉 Radiosonde RS80 進(jìn)行了微型機(jī)械壓力傳感器的初步研究。事實(shí)證明,微型機(jī)械具有挑戰(zhàn)性,維薩拉與芬蘭及國(guó)際上的大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)緊密合作,開(kāi)發(fā)了一種基于硅加工的壓力傳感新技術(shù)。在項(xiàng)目臨近截止日期時(shí)取得了關(guān)鍵性突破。首批 BAROCAP® 傳感器交付給了兩個(gè)破冰船廠家以及赫爾辛基電話公司。
BAROCAP® 傳感器已經(jīng)到達(dá)了人類從未涉足的地方,包括參與幾次火星探測(cè)任務(wù)和卡西尼-惠更斯號(hào)任務(wù)(探索土星及其*大的衛(wèi)星泰坦)。BAROCAP® 沖出地球走向外太空的旅程沒(méi)有停步,它已被納入構(gòu)成 NASA 火星科學(xué)實(shí)驗(yàn)室(2011 年 11 月啟動(dòng))一部分的儀器中。
動(dòng)態(tài)黑色音符
維薩拉 BAROCAP® 于 1985 年**推出,是一種硅基微型機(jī)械壓力傳感器,可在從氣象到工業(yè)測(cè)量的廣泛應(yīng)用中提供可靠的性能。采用了兩項(xiàng)強(qiáng)大技術(shù):?jiǎn)尉Ч璨牧虾碗娙轀y(cè)量,BAROCAP 傳感器具有低滯后性、出色的準(zhǔn)確度和長(zhǎng)期穩(wěn)定性。
BAROCAP® 簡(jiǎn)介
? 超過(guò) 35 年的**的壓力測(cè)量
? 用于優(yōu)良?jí)毫y(cè)量的硅基電容式傳感器
? 氣壓范圍 500...1100 hPa
? 適用于工業(yè)應(yīng)用的 50...1100 hPa 壓力范圍
? 工藝過(guò)程壓力測(cè)量范圍 1...10 bar
? NIST 可溯源的壓力測(cè)量
BAROCAP® 的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)
? 低滯后,高復(fù)現(xiàn)性
? **的長(zhǎng)期穩(wěn)定性
? 可承受惡劣條件
工作原理
BAROCAP® 是一種微型機(jī)械傳感器,它利用其硅膜的尺寸變化來(lái)測(cè)量壓力。隨著周?chē)鷫毫υ黾踊蚪档?,膜?huì)彎曲,從而增大或減小傳感器內(nèi)部真空間隙的高度。真空間隙相對(duì)的兩個(gè)面充當(dāng)電極,隨著兩個(gè)電極之間距離的變化,傳感器的電容也會(huì)發(fā)生變化。測(cè)量電容并將其轉(zhuǎn)換為壓力讀數(shù)。
BAROCAP® 傳感器特性 —— 該傳感器的單晶硅材質(zhì)帶來(lái)了良好的特性:彈性好、滯后性低、重復(fù)性好、低溫依賴性和**的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。電容式結(jié)構(gòu)使傳感器具有較寬的動(dòng)態(tài)范圍,并為超壓阻斷提供了內(nèi)置機(jī)制。
氣壓測(cè)量典型應(yīng)用
氣壓測(cè)量在氣象學(xué)中具有廣泛的應(yīng)用。需要?dú)鈮簲?shù)據(jù)來(lái)估計(jì)大氣中可沉淀的水蒸氣量。典型的應(yīng)用包括氣象站、數(shù)據(jù)浮標(biāo)、GPS 氣象學(xué)和環(huán)境數(shù)據(jù)記錄。氣壓測(cè)量也用于水文學(xué)和土壤學(xué)應(yīng)用。
在多種工業(yè)應(yīng)用中也需要?dú)鈮簲?shù)據(jù)。在對(duì)壓力敏感的工業(yè)設(shè)備(如激光干涉儀和光刻系統(tǒng))、航空應(yīng)用以及在廢氣分析中需對(duì)氣壓進(jìn)行測(cè)量。計(jì)量應(yīng)用包括實(shí)驗(yàn)室壓力標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量和校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室中的環(huán)境監(jiān)測(cè)。
維薩拉提供一系列用于室內(nèi)外的專業(yè)級(jí)氣壓計(jì)。BAROCAP® 氣壓計(jì)在大跨度溫度范圍內(nèi)適用,在高要求的應(yīng)用環(huán)境下(如專業(yè)的氣象和航空)也有可靠表現(xiàn)。
BAROCAP® 在加壓系統(tǒng)中的測(cè)量應(yīng)用
維薩拉 DRYCAP® 露點(diǎn)儀表具有悠久的歷史,可在壓縮空氣系統(tǒng)中提供可靠、穩(wěn)定的測(cè)量結(jié)果,并在高壓設(shè)備中提供 SF6 隔離氣體監(jiān)測(cè)。除了需要進(jìn)行露點(diǎn)測(cè)量外,這兩個(gè)應(yīng)用也需要進(jìn)行**而穩(wěn)定的壓力測(cè)量。維薩拉已將其 DRYCAP 和 BAROCAP 技術(shù)集成到一系列產(chǎn)品中,這些產(chǎn)品為加壓系統(tǒng)提供壓力和露點(diǎn)測(cè)量的獨(dú)特組合。
在壓縮空氣中,將露點(diǎn)測(cè)量與實(shí)時(shí)過(guò)程壓力數(shù)據(jù)相結(jié)合可提供獨(dú)特的優(yōu)勢(shì):可在線將測(cè)得的壓力露點(diǎn)轉(zhuǎn)換為大氣壓力或 ppm 單位,從而消除了露點(diǎn)數(shù)據(jù)中出現(xiàn)任何歧義的可能性。這一點(diǎn)很重要,因?yàn)槭鼙O(jiān)視氣體的壓力變化會(huì)改變其露點(diǎn)。
在高壓設(shè)備的 SF6 氣體監(jiān)測(cè)中將露點(diǎn)和壓力測(cè)量相結(jié)合,可為評(píng)估 SF6 隔離狀況提供出色的工具??梢粤⒓礄z測(cè)到泄漏,并針對(duì)水分問(wèn)題進(jìn)行預(yù)警。通過(guò)測(cè)量露點(diǎn)、壓力和溫度,可以計(jì)算 SF6 氣體密度、歸一化壓力、大氣壓力下的露點(diǎn)和 ppm ——這是 SF6 監(jiān)視中的所有基本要素。
BAROCAP® 傳感器
BAROCAP® 傳感器的橫截面
BAROCAP® 故事
BAROCAP® 的故事始于 20 世紀(jì) 70 年代后期,當(dāng)時(shí)對(duì)新一代維薩拉 Radiosonde RS80 進(jìn)行了微型機(jī)械壓力傳感器的初步研究。事實(shí)證明,微型機(jī)械具有挑戰(zhàn)性,維薩拉與芬蘭及國(guó)際上的大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)緊密合作,開(kāi)發(fā)了一種基于硅加工的壓力傳感新技術(shù)。在項(xiàng)目臨近截止日期時(shí)取得了關(guān)鍵性突破。首批 BAROCAP® 傳感器交付給了兩個(gè)破冰船廠家以及赫爾辛基電話公司。
BAROCAP® 傳感器已經(jīng)到達(dá)了人類從未涉足的地方,包括參與幾次火星探測(cè)任務(wù)和卡西尼-惠更斯號(hào)任務(wù)(探索土星及其*大的衛(wèi)星泰坦)。BAROCAP® 沖出地球走向外太空的旅程沒(méi)有停步,它已被納入構(gòu)成 NASA 火星科學(xué)實(shí)驗(yàn)室(2011 年 11 月啟動(dòng))一部分的儀器中。